| 제조사 | MITUTOYO (일본) |
| 보유수량 | 1EA |
X-Axis Travel | 1,200mm |
Y-Axis Travel | 3,000mm |
Z-Axis Travel | 1,000mm |
| 특이사항 | |
| 제조사 | MITUTOYO (일본) |
| 보유수량 | 1EA |
X-Axis Travel | 400mm |
Y-Axis Travel | 400mm |
Z-Axis Travel | 200mm |
| 특이사항 | |
| 제조사 | Pfeiffer (독일) |
| 보유수량 | 1EA |
| 특이사항 | 검출가능한 최소리크량 (He의 경우) (Sniffer mode로 사용시) 5·10-10 Pa m3/s (Vacuum mode로 사용시) 5·10-13 Pa m3/s |
| 제조사 | MITUTOYO (일본) |
| 보유수량 | 1EA |
| 제조사 | MITUTOYO (일본) |
| 보유수량 | 1EA |
| 보유수량 | 1EA |
X-Axis | 3,000mm |
Y-Axis | 2,000mm |
| 보유수량 | 1EA |
X-Axis | 2,000mm |
Y-Axis | 1,500mm |
| 보유수량 | 1EA |
X-Axis | 1,200mm |
Y-Axis | 900mm |